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技术文章

T-DALSA|短波红外,不止于科研

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短波红外,不再止于科研

几十年来,全世界都意识到了SWIR的好处,特别是在科研、军事、航空等领域对短波红外相机的应用可以说是遍地开花。如今,工业领域也开始尝到了短波红外的好处,工业检测对于短波红外的应用也越来越多。

半导体检测

半导体工业涵盖各种各样的应用,从PC到移动设备的处理器和存储器,从集成电路到太阳能电池。现如今,半导体行业离不开硅片,而硅片材料中导体Si材料的特性是:反射可见光,透过红外光。因此人眼或可见光芯片,只能接收材料表面的反射光,无法对材料内部缺陷进行检测。而短波红外相机则可以弥补可见光的不足,做Si材料的内部缺陷检测

例如:我们在晶圆背面贴上一张印有图案的纸张,当我们用可见光相机拍摄时,由于只能接收材料表面的反射光,我们并不能得到晶圆背面图案的任何信息,而当我们使用短波红外相机拍摄后,晶圆背面的图案便可以清晰的呈现在我们眼前

 

▲印有图案的纸张位于晶圆的背面

 

▲使用短波红外相机拍摄晶圆背面,图案十分清晰

因此,在半导体工业中,短波红外工业相机可以用来检测纯半导体材料的质量。此外,切割成晶片的硅锭和晶片成品,也可以通过短波红外相机来检测缺陷或裂纹,然后将晶片加工成光电子元器件或其他半导体器件。在后切割晶圆成为单芯片的加工过程中,对于锯片和激光校准来说,短波红外相机依旧是目前应用的主流方案。为了进行失效分析,装配好的集成电路必须进行裂纹或光刻检测,整个生产流程中都需要进行检测,而在这些应用中,都少不了短波红外相机的身影。

食品分选

同样,短波红外相机也可应用在食品分选领域,在可见光拍摄的食品图片中,肉桂、咖啡豆、岩石与葡萄干颜色相近,但在短波红外相机拍摄的图片中它们却因为各自水分含量的不同在图片中体现了完全不一样的灰度值

 

▲左图为短波红外相机拍摄的图片,右图为可见光相机拍摄的图片,通过图片对比,我们可知短波红外相机更适用于食品分选。

 

T-DALSA:出炉,短波红外工业相机

既然短波红外相机在工业领域的应用可以如此之广,Teledyne DALSA作为机器视觉行业领头羊,率先打造了Linea SWIR短波红外GigE线扫描相机,该系列相机采用紧凑型封装的InGaAs传感器,并具有超高灵敏度低噪声,Linea SWIR系列相机既可以提供具有12.5μm高响应性的1k分辨率相机,也可以具有更大25μm像素的512分辨率相机,两款相机行频皆为40kHz,同时相机支持cycling mode、可编程I/O、PoE供电、准确时间协议(PTP)等多种功能,适用于多种机器视觉应用。

 

▲Linea SWIR系列短波红外相机

与所有Linea系列线扫描相机一样,Linea SWIR具有可靠的构建质量和高级功能,Linea SWIR具有使您的机器视觉工作更轻松的功能,包括高速,高灵敏度,循环模式和可编程I / O。多功能的Linea SWIR是光学分选,太阳能电池板检测以及通用机器视觉等应用的理想选择。

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