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在半导体生产过程中，检测是提升良率的关键环节，主要针对晶圆上的物理缺陷和图案缺陷。光学检测凭借非接触、快速和低成本的优势成为主流方案，而光源的性能直接影响检测效率与可靠性--高亮度、高稳定和多波长选择缺一不可。
传统卤素灯因寿命短（<1000小时）、亮度不足、紫外波段覆盖差且面临环保淘汰，已无法满足需求。Revox的SLG系列光纤光源以超高亮度、＞2万小时超长寿命和紫外到红外的多波长覆盖，成为半导体、显示及PCB检测的理想选择，助力客户实现更高效、稳定的检测流程。
01 紫外光纤光源
短波长、高精度（SLG-150V-UV系列）
非常适合替换汞灯
高辐射亮度：4.9W@365nm、8.2W@385nm、7.6W@405nm
除 3 种标准波长外，还可定制11种紫外波长
02 可见光光纤光源
经济之选（SLG-150V/165V系列）
照度>500万LUX，远超250W金属卤化物光源
波长可选白色（CW/DW）R、G、B
165V系列支持5孔电动滤色片转盘
多端口、分时频闪（SLG-150HSP系列）
支持3路独立输出，节省空间
可自由选配颜色W、R、G、B
支持高速频闪结合高速切换功能，可轻松实现分时频闪/光谱频闪
超亮、自由混光（SLG-450系列）
超高照度超过2500万LUX
R、G、B混合比例可调、锁定，单口输出各种颜色光
支持常亮、频闪模式，可设置8组亮度值
旗舰、超亮之选（SLG-600V2系列）
＞5500万LUX超高照度，氙灯升级优选
可选支持5孔位电动滤色片转盘
1μs极速频闪，高速切换任意设定的亮度
03 红外光纤光源
更强的穿透性（SLG-150V-NIR系列）
740-1650nm全红外波段覆盖，11种波长可选，替代卤素光源
超长寿命可达3万小时，远超卤素灯
01 良好的线性度
支持1024级调光，独特校正功能，实现调光线性
02 照明稳定
环境适应性强，亮度波动≤±3%
03 照度反馈系统
智能照度反馈，维持恒定光输出
注：SLG-150/165系列需选配；SLG-450/SLG-600系列标配
04 丰富的光纤波导选择
可选或定制点、环、线、面等光波导
01 晶圆表面缺陷检测--可见光光纤光源
超亮白光搭配线扫TDI相机，显著缩短曝光时间，大幅提升晶圆扫描效率
02 晶圆内部缺陷检测--红外光纤光源
红外高穿透特性，直达内部缺陷
03 晶圆表面微小缺陷检测--紫外光纤光源
突破可见光极限，微痕精准成像
04 多缺陷检测--分时频闪成像
单工位实现3种光场成像，多类缺陷检出
欢迎试用
